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碳化硅炉管
碳化硅炉管，扩散炉炉管，高纯碳化硅炉管SIC含量＞99.96%，纯度高，无金属形态杂质，不污染晶圆，适用于半导体集成电路FAB厂商扩散退火氧化工艺
