耐高温 抗磨损 耐腐蚀
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碳化硅承载盘
西安中威（ZHWE）生产
Φ380mm--Φ600mm半导体蚀刻盘,晶片承载盘，
碳化硅载盘，SIC载盘，碳化硅拖盘、ICP刻蚀盘，刻蚀托盘，碳化硅纯度＞99.9%，SIC托盘使用寿命是石墨基CVD载盘四倍，长期使用不变形，耐FH酸、浓H2SO4腐蚀，大幅节省碳化硅基CVD载盘使用成本50%,欢迎来电咨询
