碳化硅反射镜

SiC陶瓷反射镜的制备工艺及特点

SiC反射镜坯体，碳化硅反射镜,SIC反射镜,碳化硅陶瓷反射镜,轻量化反射镜，长春光机所反射镜根据其制备工艺的不同可分成很多种。主要的材料类型普通碳化硅反射镜,SIC反射镜,碳化硅陶瓷反射镜,轻量化反射镜，长春光机所反射镜烧结法SiC(Sintered SiC)、热(等静)压法SiC(HP SiC)、反应烧结法SiC(RB SiC)、化学气相沉积法SiC(CVD SiC)、多孔泡沫法SiC (Porous SiC)陶瓷等。 碳化硅反射镜,SIC反射镜,碳化硅陶瓷反射镜,轻量化反射镜，长春光机所反射镜为不同工艺方法制备的SiC陶瓷反射镜性能比较。从各 神工艺制备的SiC陶瓷材料都具有反射镜要求的优异力学性能及热物理性能, 但只有CVD工艺制备的SiC材料能够满足光学加工要求，适合用作高性能反射 镜的光学鏡面，但CVD制备工艺周期长，仅适合制备高纯度、薄层制品，因 此在制备厚的高性能SiC陶瓷反射镜时，通常需将反射镜坯体与反射镜光学镜 面釆用不同工艺分别制备,以利用不同制备工艺的优点满足反射镜使用的要求。西安中威新材料有限公司碳化硅反射镜,SIC反射镜,碳化硅陶瓷反射镜,轻量化反射镜，长春光机所反射镜，陶瓷反射镜一般由坯体及表面光学反射层组成，坯体要求满足反射镜所要求的 力学、热学以及轻觉化结构要求，而光学层材料则要求细晶、致密、可加工到足够 髙的表面光洁度，以及与坯体的物理、化学性能相匹配。除CVD SiC涂层外，由于琪品或多品Si与SiC材料有良好的热匹配性能，同时也能够满足光学抛光精 度的要求,常用来作为SiC反射镜表面的光学反射涂层。