碳化硅托盘

西安中威（ZHWE）生产Φ380mm--Φ600mm半导体蚀刻盘,晶片承载盘，碳化硅载盘，SIC载盘，碳化硅拖盘、ICP刻蚀盘，刻蚀托盘，碳化硅纯度＞99.9%，SIC托盘使用寿命是石墨基CVD载盘四倍，长期使用不变形，耐FH酸、浓H2SO4腐蚀，大幅节省碳化硅基CVD载盘使用成本50%,欢迎来电咨询

坩埚匣钵

陶瓷套管内衬

耐磨内衬

碳化硅晶舟